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空氣過濾器典型使用場所分析

時間:2011/8/2 17:09:39

空氣過濾器典型使用場所分析
  1 芯片廠
  當今,半導體芯片廠對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度最挑剔,對空氣過濾器的要求也最苛
  刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。
  芯片廠用的高效過濾器和風機過濾單元(FFU)出廠前要經(jīng)過掃描測試。芯片廠不認鈉焰法和DOP法的帳。芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發(fā)元素。近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料,這種材料沒有揮發(fā)物,但它帶靜電,過濾后的空氣要進行電中和以消除離子,少了個隱患,多了個麻煩。
  但當芯片的線寬小到0.5um時,人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害,于是,后建的芯廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學過濾器。芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器,它的原理和制造工藝并不復(fù)雜。許多情況下,設(shè)計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度,因此,芯片廠用的化學過濾器應(yīng)具有兩個特點:廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。如果能確定污染物種類,就可對吸附材料進行有針對性的化學處理,以增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應(yīng)商有時還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場檢測服務(wù),以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況,這就要求供應(yīng)商中有搞化學過濾的專家,并與權(quán)威實驗室有密切的關(guān)系。
  半導體工業(yè)并非“無煙工業(yè)”,它也有環(huán)境問題。為降低環(huán)境風險,有些芯片廠的排風系統(tǒng)也裝有化學過濾器。
  2 機場空調(diào)系統(tǒng)
  飛機場是賓客對城市的第一印象,機場空調(diào)系統(tǒng)表明主人的實力和空調(diào)設(shè)計師的水
  平。在發(fā)達國家大型機場的空調(diào)系統(tǒng)中,空氣過濾器常見配置為:
  G4~F6預(yù)過濾器→活性炭過濾器→F7末端過濾器
  F7過濾器(Ashhae Dust-spot 85%)是上檔次的公共場所中最常見過濾器。經(jīng)過F7過濾器后,空氣含塵濃度可以達到旅游景區(qū)的水平。國家標準中規(guī)定候機廳可吸入顆粒物的濃度上限為0.15mg/m3,這是從衛(wèi)生角度考慮的最低要求,機場室外空氣也比這個濃度低.設(shè)計中,機場空調(diào)考慮的是檔次,而不僅僅是衛(wèi)生.
  機場有汽油味,消除氣味的活性炭過濾器成了發(fā)達國家機場空調(diào)中的標準配置.這里沒多少技術(shù)可言.活性炭過濾器檢驗機場投資者和運營者的實力.
  3 潔凈室末端過濾器
  過濾器是通用產(chǎn)品,不管什么等級的潔凈室,所用的高效過濾器是一樣的.一但過濾器的品質(zhì)一有了保證,通風參數(shù)(換氣次數(shù)或平均風速)就成了決定潔凈工程質(zhì)量的關(guān)鍵因素。表3是潔凈室設(shè)計時應(yīng)考慮的一些因素。
  表3 潔凈度、通風參數(shù)與高效過濾器
  ISO14644 
  分 級 對應(yīng)傳統(tǒng)規(guī) 格 氣流形式 平均風速 (m/s) 換 氣
  次 數(shù) 末 端 過 濾 
  器 效 率 過濾器出廠
  檢驗方法
  ISO1級 ≥99.9999% 掃描
  ISO2級 U 0.3~0.5 ≥99.9999% 掃描
  ISO3級 1 U 0.3~0.5 ≥99.999% 掃描
  ISO4級 10 U 0.3~0.5 ≥99.999% 掃描
  ISO5級 100 U 0.2~0.5 ≥99.97% 總效率或掃描
  ISO6級 1000 N,M 70~160 ≥99.97% 總效率或掃描
  ISO7級 10000 N,M 20~70 ≥99.97% 總效率或掃描
  ISO8級 100000 N,M 10~20 ≥99.97% 總效率或掃描
  注:U-單向流,N-非單向流,M-單向與非單向混合流
  表2中的“平均風速”只針對單向流潔凈室,這種潔凈室的平均風速必須壓過粉塵的擴散速度。表中的“換氣次數(shù)”是針對高3m左右的常規(guī)潔凈而言,這個參數(shù)通常僅對非單向流和混合潔凈室有意義。
  目前國外高檔次潔凈室用的高效過濾器全部經(jīng)過掃描檢驗,由于歷史原因,有些要求不高的潔凈室仍使用經(jīng)過傳統(tǒng)的總效率方法測試的過濾器。
  由于具體項目的要求不同以及設(shè)計理念的差異,設(shè)計師對換氣次數(shù)的平均風速選取也會不同。近幾年,國內(nèi)設(shè)計潔凈室的換氣次數(shù)有提高的趨勢。
  國內(nèi)制藥行業(yè)GMP規(guī)范中有個“30萬級”。30萬級的環(huán)境相當于風平浪靜的近海海面、“環(huán)境質(zhì)量優(yōu)”的景區(qū)。要獲得30萬級,多數(shù)情況下沒必要加裝末端高效過濾器,在空調(diào)系統(tǒng)中選用好一些的過濾器(效率級別F8~H10)就可以了。
  “提高過濾器的過濾效率可以降低換氣次數(shù)”,這是個十分可怕的念頭。潔凈室的主要塵源是人和設(shè)備,相比之下,經(jīng)高效過濾器進入室內(nèi)的粉塵量要少得多,如果通風參數(shù)相同,選用99.9999%過濾器與選用99.97%過濾器,潔凈室的潔凈程度不會有多少差別。單向流潔凈室的平均風速至關(guān)重要,如果風速壓不住粉塵擴散速度,使用再好的過濾器也白搭。
  非單向流潔凈室也稱“亂流”潔凈室,另有個形象的稱呼叫稀釋型(dilutiontype)潔凈室。這種潔凈室的平均風速遠遠低于粉塵擴散速度,送風僅起稀釋作用,由于這類潔凈室內(nèi)操作人員相對地多、設(shè)備和生產(chǎn)過程發(fā)塵量也較大,所以過濾器效率的高低不再是潔凈度的決定因素,因為最差高效過濾器的其效率也會是99.97%,它足以滿足稀釋室內(nèi)粉塵濃度的要求。
  國內(nèi)曾有種觀點,10萬級潔凈室可以選用“亞高效”過濾器(對≥0.5um粒子的過濾效率≥95%),其理由是亞高效過濾器便宜、阻力小。就價格而言,目前市場上同樣尺寸規(guī)格的亞高效過濾器并不比高效過濾器便宜多少。選用亞高效過濾器時,潔凈室的換氣次數(shù)要明顯增大,為此,空調(diào)系統(tǒng)要加大、過濾器的數(shù)量要增多,由此造成投資的增加遠高于高效與亞高效過濾器間的差價。在生產(chǎn)過程中,高效過濾器要進行逐臺測試,而亞高效 只進行少量抽測。兩者的外觀可能一樣,但品質(zhì)卻有明顯差別。在潔凈室使用亞高效過濾器,這種作法只會讓你花冤枉錢。
  4 潔凈度分級
  1963年,美國潔凈室標準FED-STD-209中,按每立方英尺中≥0.5mm粉塵數(shù)量的最高允許濃度,將潔凈室分成若干等級,如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都加以效仿。
  1999年,國際標準化組織ISO頒布了一項國際標準《ISO14644-1 潔凈室與受控潔凈環(huán)境》第一部分:空氣潔凈度分級。標準中采用了新的分級。
  2001年,中國新頒布的潔凈室設(shè)計標準中采用了ISO分級。
  ISO潔凈度等級以及與傳統(tǒng)分級的對應(yīng)關(guān)系
  ISO14644 
  分級 最高濃度極限(顆粒數(shù)/m3) 近似對應(yīng) 
  傳統(tǒng)規(guī)格
mm 5.0m 1.0m 0.5m 0.3m 0.2  0.1 
  ISO 1 10 2 
  ISO 2 100 24 10 4 
  ISO 3 1000 237 102 35 8 1
  ISO 4 10000 2370 1020 352 83 10
  ISO 5 100000 23700 10200 3520 832 29 100
  ISO 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 1000
  ISO 7 352000 83200 2930 10000
  ISO 8 3520000 832000 29300 100000
  ISO 9 35200000 8320000 293000 
  5 汽車涂裝空氣過濾
  若5um的粉塵混入漆塵,人的肉眼就可以看到由粉塵造成的瑕點。為了保證轎車油漆質(zhì)量,汽車制造廠的涂裝車間(油漆車間)使用大量空氣過濾器。
  噴漆線一般是個很長的隧道,車身在隧道中歷經(jīng)各種工序。整個隧道的頂部覆蓋有一層厚實的無紡布,新風穿過無紡布均勻地進入隧道。這層無紡布的作用是阻尼均流,它有些過濾作用,又是濾材廠家生產(chǎn)的,所以人們習慣地把它歸到空氣過濾器。這層阻尼材料的效率規(guī)格大致相當于F5。過濾效率高低在此其實并不重要,重要的是材料本身要均勻,出風面不能掉毛。
  噴漆線的主過濾器設(shè)在阻尼層的上方,或設(shè)在空氣處理機組內(nèi)。主過濾器的效果規(guī)格為F5~F7,主過濾器一般為普通的袋式過濾器,決定噴漆隧道空氣水平的是這一級過濾器,而不是最靠近隧道的那層阻尼材料。主過濾器之前還要有預(yù)過濾器。近些年新建涂裝車間多選用進口生產(chǎn)線或仿造進口的生產(chǎn)線,所以袋式過濾器大都是592×592mm(名義尺寸24” ×24”)的通用規(guī)格。
  在涂裝車間的烘烤生產(chǎn)線上,送風溫度在200℃左右,由于空氣處理器中的加熱裝置可能發(fā)塵,所以過濾器要放在加熱裝置之后,這要求過濾器能夠長期承受200~250℃的高溫。此處過濾器的效率規(guī)格一般為F7~F8,過濾器全部都是有隔板結(jié)構(gòu),褶距約8mm的玻纖濾紙由瓦楞狀的鋁箔隔開。由于要耐高溫,濾紙與過濾器金屬外框間的粘合與密封問題是關(guān)鍵,密封結(jié)構(gòu)要可靠,密封材料的成本又不能太高。過濾器上的密封墊多為有彈性的玻璃纖維氈墊。烘烤生產(chǎn)線有隔板過濾器的外形尺寸為610×610×292mm。烘烤生產(chǎn)線的預(yù)過濾器設(shè)在送風機組的入口端,所以沒有耐溫要求。預(yù)過濾器多選用效率較低的普通袋式過濾器,為了方便管理,烘烤線的預(yù)過濾器與噴漆線的預(yù)過濾器經(jīng)常為同一規(guī)格型號。
  硅酮是一種很好的材料,可以用來做潤滑劑、粘接劑、密封材料,甚至曾用做隆胸填料,汽車上到處用到硅酮。但汽車廠的涂料車間卻特別忌諱硅酮,因為金屬表面沾上硅酮,漆層就會起泡。涂裝車間明文禁用任何硅酮,過濾器供應(yīng)商應(yīng)該仔細檢查制造過程中所用的各種材料,尤其是粘合劑,確保其中不含硅酮。
  6 核電站用的過濾器
  核工業(yè)消耗大量過濾器,凡核工業(yè)用的過濾器統(tǒng)稱“核級過濾器”。從歷史上講核工業(yè)成就了諸如Cambridge、Camfil、Sofiltra、Vokes那些曾經(jīng)或依然紅火的過濾器公司。
  為防止放射性粉塵的溢散,核電站的排風系統(tǒng)需要大量高效過濾器。美國標準規(guī)定這種高效過濾器的效率為:對0.3um的DOP粒子過濾效率99.97%。多數(shù)國家照搬美國標準,有些國家規(guī)定了自己的試驗方法,但過濾器性能與用美國方法測出的性能相當。大多數(shù)核級高效過濾是傳統(tǒng)形式的有隔板過濾器,其中,濾材為玻纖濾紙,隔板采用0.038mm的鋁箔,外框是碳鋼或不銹鋼,濾紙與外框間的粘接劑為硅酮、PVC或其它耐溫材料,過濾器的迎風面與背風面有金屬保護網(wǎng)。核級過濾器的許多性能在平時屬于“多余性能”,那是為意外事故時的可靠性準備的。
  法國是無隔板過濾器的鼻祖,法國人 地核電站中用無隔板過濾器替代了傳統(tǒng)有隔板過濾器,韓國和中國進咒罵了法國核電站,并各自實現(xiàn)了過濾器生產(chǎn)的本土化,除了上述三國,多數(shù)國家不敢在關(guān)鍵部位使用無隔板高效過濾器。
  中國早期核反應(yīng)堆用的高效過濾器與美國的大同小異,后來,中國引進了法國、加拿大、俄羅斯的技術(shù)。中國的核級過濾器數(shù)量不多,樣式不少。
  甲基碘和碘是放射性元素鈾的裂變產(chǎn)物,為了清除空氣中的甲基碘蒸汽,核電站使用大量活性炭過濾器。這類用途的活性炭材料要經(jīng)過特殊的化學浸漬處理,以提高對甲基碘和碘的吸附能力。習慣上,核工業(yè)用的活性炭材料稱“活性炭”,活性炭過濾器稱為“碘吸附器”。與普通活性炭過濾器相比。核電站用的順炭層厚、吸附效率高、耐溫和抗震要求高。由于吸附是個放熱過程,溫度過高可能引燃活性炭,所以對碘吸附器有嚴格的耐溫要求。核燃料處理廠中甲基碘和碘的濃度很高,這時就不能再使用活性炭,而是采用不燃的多孔吸附材料來制造碘吸附器。
  按消耗量計算,核電站中用量最大的是一般通風用的過濾器。核電站用的通風過濾器的形式多種多樣,其具體規(guī)格在建設(shè)初期就確定了,過濾器公司必須按原規(guī)格供貨。除非意外,業(yè)主和供應(yīng)商都不敢輕易改變原材料、制造工藝、試驗方法和供貨渠道。
  核工業(yè)用的過濾器,其原理和結(jié)構(gòu)與其它行業(yè)用的過濾器沒多大差別。核工業(yè)過濾器不求高新、不搞市場經(jīng)濟、不侃價。安全第一,可靠第一。與其它行業(yè)相比,核工業(yè)用的過濾器要經(jīng)受更多的檢測項目,要經(jīng)過更多的認證。那些檢驗和認證經(jīng)常是些政府把持的、與核工業(yè)有關(guān)的專門機構(gòu)來做。此外,過濾器供應(yīng)商必須具有可靠的資質(zhì)和信譽,得到或多或少的政府支持,還要有相當?shù)臉I(yè)績和相應(yīng)的技術(shù)實力。 
  附錄: 典型場所過濾器配置
  場 所 主過濾
  器效率 常 見 過 濾 元 件 特 殊 要 求 說 明
  普通空調(diào)機組中的主過濾器 F5~F7 袋式、無隔板過濾器 過濾效率合理 衛(wèi)生,保護室內(nèi)裝潢,保護空調(diào)系統(tǒng)
  普通空調(diào)機組中的預(yù)過濾器 G3~F5 各種便宜、使用方便的過濾器 容塵能力高,供貨有保證 保護空調(diào)系統(tǒng),保護下一級過濾器
  高檔公共場所集中空調(diào)主過濾器 F7 袋式、無隔板過濾器 防止風口黑漬,防止室內(nèi)裝潢褪色
  機場航站樓 F7 袋式、無隔板過濾器 旅客第一印象
  學校、幼兒園 F7 袋式、無隔板過濾器 防火 特殊安全考慮
  診室與病房 F7~F8 袋式、無隔板過濾器 無營養(yǎng)物 防止交叉感染
  博物館、圖書館 F7 袋式、無隔板過濾器 保護珍品
  普通音像工作室 F7 袋式、無隔板過濾器 保護光學設(shè)備和制品
  非均勻流潔凈室 HEPA 有隔板、無隔板高效過濾器 逐臺測試,無易燃材料,無營養(yǎng)物 過濾器裝在高效送風口內(nèi)
  均勻流潔凈室 HEPA ULPA 有隔板、無隔板高效過濾器 逐臺掃描檢驗,流速均勻 潔凈室末端
  一般潔凈室預(yù)過濾 F8~H10 袋式、無隔板、有隔板過濾器 保證開端過濾器正常使用壽命
  芯片廠10級、1級潔凈廠房 ULPA 無隔板ULPA過濾器 逐臺掃描檢驗,流速均勻,無揮發(fā)物 當今對過濾器性能要求最高的過濾器
  芯片廠10級、1級潔凈廠房預(yù)過濾 HEPA 無隔板、有隔板過濾器 承受高風速 保證末端過濾器的使用壽命為“一輩子”
  制藥行業(yè)30萬級潔凈廠房 F8~H10
  HEPA 袋式、無隔板、有隔板過濾器 無營養(yǎng)物 末端過濾器可以設(shè)在中央空調(diào)器內(nèi)
  負壓潔凈室排風過濾 HEPA 無隔板、有隔板過濾器 可靠 禁止危險物品的排放
  轎車涂裝流水線主過濾器 F4~F7 袋式過濾器 不含硅酮,不掉毛,阻燃 滿足面漆無疵點,保護均流材料
  轎車烤漆流水線主過濾器 F6~F7 耐高溫有隔板過濾器 不含硅酮 工藝要求
  高要求靜電噴涂生產(chǎn)車間 F7~F8 袋式、無隔板過濾器 不含硅酮,不掉毛 保證外觀無疵點
  核電站排風 HEPA 有隔板、無隔板過濾器 防火、耐沖擊、專門機構(gòu)認證 防止核污染
  采用集中空調(diào)的機房、交換臺、中控室 F5~F7 袋式、無隔板過濾器 防止因灰塵引起的散熱不良和電路故障
  采用柜式空調(diào)的機房、交換臺、中控室 G3~F5 簡易的平板過濾器 因場地限制,很難采用其它形式的過濾器
  化纖抽絲工序 F8 袋式過濾器 防斷絲,防“煤灰紗”
  紡紗車間 G4~F7 袋式過濾器,靜電過濾器 防“煤灰紗”
  食品工業(yè) F7 袋式、無隔板過濾器 無營養(yǎng)物 生產(chǎn)環(huán)境的衛(wèi)生
  潔凈工作臺,風淋室 HEPA 有隔板、無隔板高效過濾器 
  軋鋼主電機 F7 袋式過濾器 阻燃 防止因粉塵造成的電機故障
  卷煙廠中央空調(diào) F7 自潔式過濾裝置,傳統(tǒng)袋式過濾器 國內(nèi)煙草行業(yè)目前流行自潔式過濾裝置
  家庭中央空調(diào) G3~G4 平板過濾器 便宜、美觀 擺在超市的商品
  普通家用空調(diào) -- 尼龍網(wǎng) 可清洗 阻擋纖維和粗粉塵
  風沙地區(qū)預(yù)過濾 -- 慣性除塵裝置,水浴除塵裝置,卷簾過濾器 清除大顆粒粉塵,只在刮風時工作
  燃氣輪機與離心式空壓機 F7~F8 無隔板、袋式、有隔板過濾器、自潔式過濾器 抗沖擊,阻燃,憎水 防止設(shè)備內(nèi)部結(jié)垢、磨損、腐蝕
  軸流式空壓機 F5~F7 無隔板、袋式過濾器 抗沖擊,憎水 防止葉片磨損
  往復(fù)式空壓機、內(nèi)燃機 G3~F5 袋式過濾器,濾清器,平板過濾器 抗沖擊,耐超阻 防止汽缸磨損
  高級轎車空調(diào) F7 無隔板過濾元件 防塵,防花粉
  高檔家用吸塵器 F7 HEPA 無隔板過濾元件 結(jié)實,抗水 防止排風二次污染
  潔凈室用吸塵器 HEPA 無隔板過濾元件 結(jié)實,抗水 防止排風二次污染
  家用空氣凈化器 F7~F9
  HEPA 筒狀和方形無隔板過濾元件 便宜,美觀 擺在超高的商品
  防毒面具 HEPA 無隔板過濾元件 耐溫,抗水 常與活性炭組合使用
  注1:“主過濾器”指系統(tǒng)中最末一級過濾器,或指定部位的過濾器。
  注2:表中的效率規(guī)格采用歐洲現(xiàn)行規(guī)格,有些行業(yè)和地區(qū)不使用這種規(guī)格
  注3:表中未列出壓縮空氣使用的過濾器,那些行業(yè)稱其為“濾清器”。
  引起空調(diào)性能下降造成的經(jīng)濟損失遠遠大于使用最好過濾器的費用。

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